TFT是以光学微影的方式，将光刻掩模上的形状转移到基板上，而TFT制程所使用的曝光仪器，可能是步进曝光机、扫描曝光机，或是直接曝光机，需要配合所用光学微影仪器设定的对准标示图案，将曝光机放置在适当的位置。

    阵列测试装置

    除了外观上的不良之外，还有一些电性上的不良点或是TFT的特性不良，仅仅利用所诉的光学检查无法检测出来，因此会再利用电性检查的方法来寻找可能的不良点。一方面，如同光学检查，需要记忆可能是缺陷的坐标，所以，要配合所用阵列测试仪器设定的对准标示图案，放置在适当的位置。  

    元件特性测量

    显示屏模组小编讲述：TFT的特性是否正常，是TFT制程是否稳定的重要指标，为了以探针组连接TFT测试键来测量元件特性，需要精确地将探针组定位在TFT测试键所放置的位置上，所以，要将配合所用元件特性测量仪器设定的对准标示图案，放置在适当的位置。