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TFT的特性是否正常是TFT制程是否稳定的重要指标
发布:qixian 发布时间:2012年12月12日 阅读:
    TFT是以光学微影的方式,将光刻掩模上的形状转移到基板上,而TFT制程所使用的曝光仪器,可能是步进曝光机、扫描曝光机,或是直接曝光机,需要配合所用光学微影仪器设定的对准标示图案,将曝光机放置在适当的位置。

    阵列测试装置
    除了外观上的不良之外,还有一些电性上的不良点或是TFT的特性不良,仅仅利用所诉的光学检查无法检测出来,因此会再利用电性检查的方法来寻找可能的不良点。一方面,如同光学检查,需要记忆可能是缺陷的坐标,所以,要配合所用阵列测试仪器设定的对准标示图案,放置在适当的位置。  

    元件特性测量
    显示屏模组小编讲述:TFT的特性是否正常,是TFT制程是否稳定的重要指标,为了以探针组连接TFT测试键来测量元件特性,需要精确地将探针组定位在TFT测试键所放置的位置上,所以,要将配合所用元件特性测量仪器设定的对准标示图案,放置在适当的位置。
 
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